In dem Fachbeitrag wird ein Sensorsystem (HUMItrace III) zur Be- stimmung der Spurenfeuchte im Prozess vorgestellt. Die Bestimmung der Spurenfeuchte erfolgt mit neuentwickelten planaren Sensoren (HUMItrace-Sensoren) nach dem coulometrischen Messprinzip im Frostpunkt-temperaturbereich von -80°C bis -30°C. Mit der Kalibriereinrichtung THG11 wird die Messtechnik durch Mischen von trockenen und befeuchteten Teilgasströmen kalibriert. Die Spurenfeuchte von Gasen kann in diesem Bereich mit den HUMItrace-Sensoren mit einer erweiterten Unsicherheit von 2 K bestimmt werden. Die Sensoren können aber auch zur Spurenfeuchte Messung in Wasserstoff, Stickstoff und Distickstoff-monoxid eingesetzt werden. Eine weitere Kalibriereinrichtung, THG-P12, generiert Prüfgase nach der Permeationsmethode; sie kann in das HUMItrace III Sensorsystem implementiert und zur vor-Ort-Kalibrierung der HUMItrace-Sensoren nach dem Standardadditionsverfahren genutzt werden.